優勢
特點
快速——置點之的流量澱不到2秒
無與倫比的可靠性——一年零漂移不到度流量的0.5%
易於整合——准連接器和尺寸
出色的效果——薄膜的特性
防腐
金屬密封
VCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性連接
全金屬密封
度流量范10 sccm-200 slm
常或常的磁控制
洩漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He