產品描述
渦輪分子泵系列
萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規格，抽速自50至1100升／秒，極限真空度為＜10-10mbar。
其主要特點為：
◆陶瓷軸承為脂潤滑，無維護運行時間長。
◆允許任意角度安裝。
◆有水冷和風冷兩種選擇。
◆對H2的壓縮比大。
◆無油真空泵，可用來產生潔淨的超高真空。
TW系列復合分子泵
抽速：70～1600升／秒
極限真空度：10－9mbar
最大允許前級壓強：6～14mbar
主要特點有：
◆轉子葉片為一次成型，消除了葉片應力，使得前級耐壓高達14mbar，並能抵抗短暫的大氣衝擊。
◆高效的風冷系統，使其在絕大多數工作條件下無需冷水。
◆變頻器與泵體的一體化設計，避免了連接變頻器帶來的不便。
◆模塊化的設計為用戶提供了多種選擇。
◆結構緊湊，可方便地安裝到複雜的系統中。
◆可以任意角度安裝。
◆螺旋式的拖動級耐粉塵能力強。
◆軸承為油脂潤滑，無維護運行時間長。
◆無油真空泵，可用來產生潔淨的高真空和超高真空。
◆可在軸承需要維護時提前預警。
◆通過通訊接口可以與掌上電腦，PC或PLC聯絡，以讀取分子泵工作狀態的參數，以及儲存單元的運行記錄；並可根據需要對某些參數進行修改，如頻率等。
◆高前級耐壓降低了對前級泵的要求，使得系統總體造價降低。
新一代數字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C／CT，MAG2000C／CT，MAG2200C／CT，MAG 2800C／CT，MAG 3200C／CT
抽速：1500l／s～3200l／s
●五軸定位雙端磁懸浮軸承系統，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流衝擊。
●轉子採用高強度鋁合金，一次高速銑削成形，應力小，強度高，耐衝擊，高溫變形量小，轉子葉片不易捲曲、打碎；轉子長期運行溫度可高達120℃。
●轉子及定片均採用萊寶專利技術的 KAPLAR 塗層
●較鍍鎳的轉子具有更強的防腐蝕性能，適用於抽除腐蝕性強的工藝氣體；
●降低氣流與轉子葉片摩擦產生的熱量，降低轉子運行溫度，有利於延長轉子壽命；
●葉片鍍 KAPLAR 的轉子較鍍鎳的轉子重量更輕。
●保護軸承為陶瓷軸承，壽命長（＞600次），無需更換保護軸承。
●高真空端連接採用ISO-F，連接螺栓強度高，充分保障安全。
●智能化電源，無需UPS。
●帶拖動級，前級耐壓在2mbar以上。
●分子泵運行溫度可調節，使其充分適應不同工藝製程。
●最先進的數字控制技術
●運行速度、溫度可設置；
●運行數據記錄存儲，提供多達180條運行信息；
●磁懸浮軸承及泵運行溫度採用數字化控制，信號處理速度快，系統反應時間短
●轉子受氣流衝擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉子動平衡變化時，磁場補償反應時間短；
●在氣流長時間（2分鐘以上）過大，而使泵負載過高，發熱量過大時，泵速會快速自動調節，使泵溫下降到正常水平。
●控制器與泵無識別性，可互換。
●免維護。
典型應用：
適用於
●所有半導體主要製程：刻蝕、化學氣相沉澱及離子注入
●科研領域
●鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M，MAG400和MAG 1000。
產品圖片
圖 1
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