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產品應用：應用於半導體材料、器件（如LED）、新材料等的快速熱處理（如快速退火、合金等工藝），適用2-6英吋工藝尺寸

產品特點：
◆控溫精度高，溫區控溫穩定性好
◆真空雙室結構（雙室/准雙室），自動送片出片（推拉/懸臂/軟着陸）
◆關鍵部件均採用進口，確保設備的高可靠性
◆材料雙工藝模式：水平及垂直
◆工業計算機控制系統，操作方便簡潔，對爐溫、進退舟等動作進行自動控制
◆完善的報警保護措施（全自動，無人看守）
◆做到安裝即用

主要技術指標：
◆工作溫度：200-1200℃±1℃/24h
◆溫區長度：400mm（可根據客戶要求進行調整，片內均勻性±1℃/1100℃）
◆生產效率：75片/時
◆最大升溫速率：100-300℃/S
◆最大降溫速率：50-100℃/S
◆溫區控制段：三點溫度控制
◆程序控制：多條多段（20）段工藝曲線控制（用戶編程設定，溫度自動升恆降）
◆真空系統：真空度優于5×10-3Pa，機械泵+擴散泵，數顯真空計（可根據客戶特殊要求配置）
◆工藝氣路：根據客戶要求提供氣路流量控制器（浮子流量計或質量流量計），並配置工藝氣體管路
◆送料方式：自動進片方式（水平）
◆控溫熱電偶可選擇石英管內置或外置，石英管道可預留拉溫區管
◆供電：三相四線，380VAC/50Hz

產品類型：根據工藝不同分為快速熱退火（RTA）、快速熱氧化/氮化（RTO/RTN）、快速汽相澱積（RTCVD）及外延RTP等
快速熱處理方式：電阻加熱型/電磁感應加熱型/燈管加熱型