產品描述
氣體質量流量計CMS(樹脂、SUS、SUS316)系列是檢測部分採用本公司獨自開發的感熱式流速傳感器“MicroFlow™傳感器”的質量流量計。利用微型機械技術製造的超小型流速傳感器和高度的集成電路設計技術的結合，以低成本實現了以前達不到的高精度和寬量程。並且，易於使用，可靠性高。氣體質量流量計CMS(用於氫氣和氦氣)系列是檢測部分採用本公司獨自開發的超小型感熱式流速傳感器“MicroFlow™傳感器”的質量流量計。利用微型機械技術製造的超小型流速傳感器和高度的集成電路設計技術的結合，以低成本實現了以前達不到的高精度和寬量程。並且，易於使用，可靠性高。
盤裝質量流量控制器MPC系列是本公司獨自開發的超高速響應流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執行器技術于一體，可安裝在儀表盤上的質量流量控制器。數字質量流量控制器。
CMQ-V系列是面向一般產業市場，具有高速、寬量程流量控制特點的新一代高性能低成本的氣體流量控制器。集本公司獨自開發的超高速響應流速傳感器-MicroFlow傳感器、比例電磁閥和高度的執行器技術于一體的高性能數字質量流量控制器。數字質量流量控制器CMQ-V系列中流量型是面向一般產業市場，具有高速、寬量程流量控制特點的新一代高性能低成本的氣體流量控制器。集本公司獨自開發的超高速響應流速傳感器-MicroFlow傳感器、比例電磁閥和高度的執行器技術于一體的高性能數字質量流量控制器。數字質量流量控制器CMQ-V系列(用於氫氣和氦氣)是面向一般產業市場，具有高速、寬量程流量控制特點的新一代高性能低成本的氣體流量控制器。集本公司獨自開發的超高速響應流速傳感器-MicroFlow傳感器、比例電磁閥和高度的執行器技術于一體的高性能數字質量流量控制器
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