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橫河電機Yokogawa臺式微量氧氧氣分析儀OX400 1
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橫河電機Yokogawa臺式微量氧氧氣分析儀OX400

型號:OX400
品牌:Yokogawa
原產地:日本
類別:電子、電力 / 儀器、儀表 / 分析儀器
標籤︰橫河 , 微量氧 , 氧氣分析儀
單價: -
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上海暉盈實業有限公司

免費會員上海市闵行区
最後上線︰2019/03/09

產品描述

OX400可用於控制和監視各種半導體應用,並控制環境,空氣洩漏入惰性氣體及其他過程。

用於半導體擴散爐和烘乾爐,以及LCD製造工藝中的氧氣濃度控制用於控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度,以及電子製造中使用的手套箱和氣體生產工藝中氧氣濃度的測量測量氧氣濃度

主要技術參數:

測量對象

惰性氣體中的氧氣濃度
(易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)

測量系統

氧化鋯系統

采樣方法

泵式抽提式等

樣氣條件

流速200±25ml/min(用於傳感器)
溫度050℃(無結露)
濕度無結露
壓力0300PaG
最大容許壓力30kPaG

測量量程

010ppm O20100vol% O2

輸出量程

自動

010ppm0100ppm01000ppm01%010%0100%(默認)

固定

設為010ppm0100ppm01000ppm01%010%,或0100%

部分

可設置下限值或上限值

模擬輸出

2路輸出,路:420mA DC(最大負載電阻550Ω),第路:可選為0105010V DC(負載電阻10kΩ或更大)

接點輸出

報警輸出2

錯誤接點,O2濃度報警接點

指定量程範圍輸出1

接點輸出

多選擇器(選配件)

流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出

接點輸入

1采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF

自診斷

故障

傳感器錯誤,加熱器溫度錯誤,溫度傳感器斷開,設備溫度錯誤,CPU錯誤,FAN停止

報警

加熱器不穩定,傳感器錯誤,電動勢異常,非對稱電壓錯誤錯誤,標定錯誤,傳感器電阻錯誤,O2濃度上/下限,超限

串口通信

RS-23238400 bps

標定方法

(1)310ppm1000ppm,空氣,(2)2可設定為零點氣和量程氣標定,(3)1點,(4)空氣標定

暖機時間

20分以內

電源

100120V AC/220240V AC50/60Hz

功耗

100120V AC200VA 最大,220240V AC400 VA 最大

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 375 (D) mm

質量

5kg

管線連接

氣體入口Rc1/41/4NPT內螺紋
氣體出口Rc1/41/4NPT內螺紋

環境條件

安裝條件

室內,盤裝或壁裝,非易燃區域

環境溫度

040℃,無結露

環境濕度

585%RH

儲存溫度

-550℃

重複性

±1%F.S.(101001000 ppm1%10%100%)

線性

±2%F.S.
±3%F.S.(0100ppm或更低)

響應時間

90%響應
10秒內(01%或更高)
30秒內(小於01%)

漂移

±2%F.S./




產品圖片

橫河電機Yokogawa臺式微量氧氧氣分析儀OX400 1
圖 1

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