型號: | OX400 |
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品牌: | Yokogawa |
原產地: | 日本 |
類別: | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 分析儀器 |
標籤︰ | 橫河 , 微量氧 , 氧氣分析儀 |
單價: |
-
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最少訂量: | - |
最後上線︰2019/03/09 |
OX400可用於控制和監視各種半導體應用,並控制環境,空氣洩漏入惰性氣體及其他過程。
用於半導體擴散爐和烘乾爐,以及LCD製造工藝中的氧氣濃度控制,用於控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度,以及電子製造中使用的手套箱和氣體生產工藝中氧氣濃度的測量,測量氧氣濃度。
主要技術參數:
測量對象 |
惰性氣體中的氧氣濃度 |
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測量系統 |
氧化鋯系統 |
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采樣方法 |
泵式、抽提式等 |
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樣氣條件 |
流速:200±25ml/min(僅適用於傳感器) |
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測量量程 |
0~10ppm O2至0~100vol% O2 |
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輸出量程 |
自動: |
0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,0~100%(默認) |
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固定: |
設為0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,或0~100% |
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部分: |
可設置下限值或上限值 |
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模擬輸出 |
2路輸出,第一路:4~20mA DC(最大負載電阻550Ω),第二路:可選為0~1,0~5,0~10V DC(負載電阻:10kΩ或更大) |
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接點輸出 |
報警輸出2點: |
錯誤接點,O2濃度報警接點 |
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指定量程範圍輸出1點: |
接點輸出 |
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多選擇器(選配件): |
流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出 |
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接點輸入 |
1點:采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF |
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自診斷 |
故障: |
傳感器錯誤,加熱器溫度錯誤,溫度傳感器斷開,設備溫度錯誤,CPU錯誤,FAN停止 |
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報警: |
加熱器不穩定,傳感器錯誤,電動勢異常,非對稱電壓錯誤錯誤,標定錯誤,傳感器電阻錯誤,O2濃度上/下限,超限 |
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串口通信 |
RS-232,38400 bps |
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標定方法 |
(1)3點:10ppm,1000ppm,空氣,(2)2點:可設定為零點氣和量程氣標定,(3)1點,(4)空氣標定 |
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暖機時間 |
20分以內 |
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電源 |
100~120V AC/220~240V AC,50/60Hz |
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功耗 |
100~120V AC,200VA 最大,220~240V AC,400 VA 最大 |
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尺寸 |
213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm |
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質量 |
約5kg |
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管線連接 |
氣體入口:Rc1/4或1/4NPT內螺紋 |
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環境條件 |
安裝條件: |
室內,盤裝或壁裝,非易燃區域 |
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環境溫度: |
0~40℃,無結露 |
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環境濕度: |
5~85%RH |
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儲存溫度: |
-5~50℃ |
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±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%) |
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線性 |
±2%F.S. |
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響應時間 |
90%響應 |
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漂移 |
±2%F.S./周 |