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原理

在待測高效過濾器的上游端發PAO氣溶膠作為塵源，待氣溶膠混合均勻后，用氣溶膠光度計進行檢測，當上游濃度值穩定后，把該濃度值設定為100%基準值。上游濃度值設定后，不要再調整PAO氣溶膠濃度。用光度計在高效過濾器下游進行掃描，檢測氣溶膠濃度，此時的濃度是下游濃度與設定的上游濃度的比值，此比值就是高效過濾器該點的洩露率。

發塵、測試上游濃度

將氣溶膠發生器通電加熱，使溫度升到400℃以上。使用惰性氣源連接氣溶膠發生器，開啟氣源閥門調節氣體壓力在0.02MPa-0.06Mpa之間。待上游氣溶膠濃度穩定后，設置此濃度為100%基準濃度。

上風側氣溶膠濃度宜達到20-80μg/l，濃度低於20μg/l會降低檢漏靈敏度，高于80μg/l長時間檢測會造成過濾器污染堵塞。（《潔淨室施工及驗收規範》GB50591-2010）

The concentration of the aerosol challenge upstream of the filter should be between 10 mg/m3 and 100mg/m3. A concentration lower than 20 mg/m3 can reduce the sensitivity of leak detection. A concentration greater than 80 mg/m3 can give rise to excessive filter fouling over an extended test period.（《Cleanrooms and associated controlled environments-Part 3:Metrology and test methods》ISO14644-3）

用光度計的采樣頭對整個高效過濾器的工作面（包括過濾器介質、過濾器邊框、過濾器邊框與靜壓箱之間、靜壓箱本身）進行掃描。掃描時，采樣頭離過濾器距離小於5cm，速度小於5cm/s之間。掃描按直線來回往復地進行，線條間應重疊。

標準

光度計檢漏法確認過濾器局部滲漏的標準透過率為0.01%，即當采樣探頭對準被測過濾器出風面某一點，靜止檢測時，如測得透過率高于0.01%，即認為該點為漏點。（《潔淨室施工及驗收規範》GB50591-2010）

Designated leaks are defined as causing a reading greater than 10-4(0.01%) of the upstream challenge aerosol concentration.（《Cleanrooms and associated controlled environments-Part 3:Metrology and test methods》ISO14644-3）

過濾器修補、更換及重新檢測

如果發現任何部位的洩露率超過標準，可以採用玻璃膠對漏點進行堵漏。單個洩漏點的堵漏面積不能超過過濾器總面積的1%，全部堵漏面積不能超過過濾器總面積的5%。如果堵漏仍無法修補過濾器，必須對過濾器進行更換。

任何形式的補漏以及更換過濾器后，都必須對過濾器進行重新檢測，直到全部滿足標準要求。