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集40多年的探針輪廓技術創新于一身，該系統在行業內的表現遙遙領先，以重現性最佳和標準掃描範圍最大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項，用於程序化測量、低探針力表征和細節分析

臺階儀Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）

規格：

測試技術：探針輪廓技術

測試功能：二維表面輪廓測試

樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器

探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）

探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg

          使用N-lite傳感器：0.03至15 mg

探針選項：探針曲率半徑可選範圍：50 nm至25 um;

          高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um

樣品載物台：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉，可手動校平；

            可選Y自動移動載物台，100 mm行程，1um重現性，0.5 um分辨率；

            可選X-Y自動移動載物台，150 mm行程；

            1um重現率，0.5 um 分辨率

計算機系統：主機使用celeron或者semprom處理器

軟件：Dektak軟件

      臺階檢測軟件

      可選應力測量軟件

      可選三維Vision分析軟件

      可選縫合軟件

減震裝置：可選桌式震動隔離裝置

          可選臺式震動隔離裝置

性能

掃描長度範圍55mm(2.1英吋)

每次掃描數據點最多12萬數據點

最大樣品厚度高達90 mm (4英吋)，取決于配置

最大晶圓尺寸150 mm(6英吋)

臺階高度重現性6埃

垂直範圍：標準524um(0.02英吋)；可選1mm

垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直範圍下）

尺寸：292 mm *508 mm*527 mm

重量：34 kg

電源要求：

輸入電壓：100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

 

有意者可詳談！