產品描述
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同時實現真空、潔淨、無氧和高溫組合運行環境潔淨度100級（FED-STD-209E）
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整體不鏽鋼設計,內膽及層板架採用的均為SUS304不鏽鋼材料
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採用進口免維護低噪音風機及高效HEPA
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多級軟硬件報警和保護功能
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內容積330L或可按要求定製
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採用5”觸摸液晶顯示屏，設定及監控簡便
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可實現參數及數據的處理、顯示、記錄等功能
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PLC控制模塊，手動定製，自動和程序等運行模式
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產品主要應用：
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砷化鎵半導體器件封裝烘烤工藝
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微型傳感器的封裝工藝、
- MEMS的封裝工藝研發
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LED等器件封裝工藝和材料無塵防氧化烘烤
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產品圖片
圖 1
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