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SL-3供氣(混氣)系統 1
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SL-3供氣(混氣)系統

型號:SL
品牌:升利
原產地:中國
類別:工業設備 / 通用機械 / 電熱設備
標籤︰供氣混氣爐
單價: -
最少訂量:1 台
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上海升利測試儀器有限公司

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SL-3供氣(混氣)系統供氣(混氣)系統本供氣(混氣)系統可用於多種氣體單一/混合連續供氣系統,尤其方便多種氣體的切換混合使用;氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,操作方便;每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全可靠! 本系統廣氾用於CVD供氣系統,氣體保護燒結,氣體保護退火等。

SL-3供氣(混氣)系統的詳細介紹

SL-3供氣(混氣)系統
主要特點:
1.本配比器適用於低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其是方便三種氣體切換使用,而不會造成大氣進入加熱爐管。
2.氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。
3.每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保証。
4.顯示流量準確,可有效地控制氣體消耗量。
5.所有儀表及閥門的連接均採用活接頭連接,便於維修拆卸。

技術參數:
氣路通道:3(可根據客戶需求設計1-8通道)
氣路流量控制器採用質量流量計控制:
標準量程(N2) :200,500 SCCM
       度 :±1.5%
          性 :±0.5~1.5%
重 復 精 度 :±0.2%
響 應 時 間 :氣特性 1~4 See
                  電特性 10 See
工作壓差範圍    :0.1~0.5 MPa
最  大 壓 力 :3 MPa
          口 :Φ6,1/4”
          示 :4位數字顯示
工作環境溫度:5~45
高純氣體不鏽鋼管:Φ6外X Φ4內
壓 力 真 空 表 :-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
       閥 :Φ6
備註:可選配質量流量計
 

產品圖片

SL-3供氣(混氣)系統 1
圖 1

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