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一、用途： http://www.vihent.com

    透反射式硅片檢測顯微鏡VH-500主要用於太陽能電池硅片的觀察.它能生產高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，並具有較大的視場範圍和相應的放大倍數, 配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務.是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。

硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、划痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產企業進行質量控制最普通的儀器.

二、技術參數   http://www.vihent.com

1.物鏡

    反射物鏡 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X(明場/暗場),Pc63X

    透射物鏡 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X,Pc100X

2.目鏡

     8X,10X,10X(帶0.1mm分划值),12.5X，16X

3.光學總放大倍數：40X-2000X 

4.測微尺: 0.01mm物鏡測微尺

5.物載片平板

6.濾色片:藍,綠,黃,灰,毛玻片

7.檢偏鏡

8.燈泡:12V50W鹵素燈

9.光源：落射光和透射光

10.成像系統:500萬高像素的數字攝像頭

三、系統組成

電腦型硅片檢測顯微鏡(VH-500C): 1、顯微微 2、適配鏡 3、500萬高像素攝像頭

                               4、計算機(選配)

四、總放大參考倍數

    電腦型硅片檢測顯微鏡(VH-500D)：50--40000倍 （17寸顯示器為例）

五、選購件   http://www.vihent.com

1.二維測量軟件VH-100   2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)  3.物鏡：20X  80X

上海維翰光電科技有限公司

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