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半自動GAN/GaAs外延片清洗機  

※  控制模式:  手動控制模式   自動控制模式。

※ 清洗規格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；

※  工藝說明:手動方式實現放件，取件，槽體間傳送件。

※  設備形式: 室內放置型。

※  腐蝕工藝自動補藥液保証了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性；

※  工藝參數（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調）手動由觸摸屏界面可設定；

※  機台前方為清洗工作區域，機台后上方為電器和氣路佈置區域，后下方為液路佈置區域。

※  藥液供給及補液方式: 分體式CDS自動供液系統

※  DI槽配有在線式水質檢測裝置；

※  配有分體式廢液回收系統；

※  強排風風通道：￠200mm×1；排風量：1500m³/h×2