產品描述
主要特點：
小體積大行程
分辨率高
開環、閉環控制兩種選擇
閉環線性度與重複定位精度高
開環100μm×100μm×100μm行程
超小體積,開環、閉環兩種選擇
快速掃描與定位
主要應用於：光纖調整與光電子學應用、掃描系統、機械工程、精密儀器製造、光纖定位、激光光學、微操作。
X、Y、Z 軸運動
開環行程範圍：100μm
閉環行程範圍：100μm
開環分辨率：0.2nm
閉環分辨率：2nm
線性度：0.1%F.S
重複定位精度：30nm
產品圖片
圖 1
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