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小型離子濺射儀 1
  • 小型離子濺射儀 1

小型離子濺射儀

型號:-
品牌:-
原產地:中國
類別:電子、電力 / 儀器、儀表 / 其他儀器、儀表
標籤︰掃描電鏡 , 離子濺射儀 , 電鏡制樣
單價: -
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即時通訊:最後上線︰2015/06/20

產品描述

  • 該系列小型離子濺射儀是依據二極直流濺射原理設計而成的,最簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。不但滿足掃描電鏡制備薄膜需要,而且也可作為實驗設備,濺射較厚的導電膜層用於其他實驗。

    可選擇普通濺射電極,也可選擇磁控濺射電極,有1200V、1600V和3000V電離電壓可選。

    可選蒸碳附件

     

    基本指標

  • 靶(上部電極):Au/Pt:直徑:50mm,厚度:0.12mm 

  • 真空樣品室: 直徑:160mm,高:120mm

  • 樣品台及工作距離:高配旋轉樣品台,簡配固定樣品台,高度手動調節

  • 濺射面積: Ф50mm,最大放置

  • 真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar

  • 離子電流表: 最大電流:50mA/100mA

  • 高壓:-1200V/ -3000V

  •  定時器: 最長時間:1~3600S

  • 真空度手動控制:微型真空氣閥,可連接φ3mm軟管 

  • 可通入氣體: 多種

  • 機械泵: 2L/S    (120L/min)


產品圖片

小型離子濺射儀 1
圖 1

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