型號: | - |
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品牌: | - |
原產地: | 中國 |
類別: | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 其他儀器、儀表 |
標籤︰ | 掃描電鏡 , 離子濺射儀 , 電鏡制樣 |
單價: |
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最少訂量: | 1 件 |
最後上線︰2015/06/20 |
該系列小型離子濺射儀是依據二極直流濺射原理設計而成的,最簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。不但滿足掃描電鏡制備薄膜需要,而且也可作為實驗設備,濺射較厚的導電膜層用於其他實驗。
可選擇普通濺射電極,也可選擇磁控濺射電極,有1200V、1600V和3000V電離電壓可選。
可選蒸碳附件
基本指標
靶(上部電極):Au/Pt:直徑:50mm,厚度:0.12mm
真空樣品室: 直徑:160mm,高:120mm
樣品台及工作距離:高配旋轉樣品台,簡配固定樣品台,高度手動調節
濺射面積: Ф50mm,最大放置
真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar
離子電流表: 最大電流:50mA/100mA
高壓:-1200V/ -3000V
定時器: 最長時間:1~3600S
真空度手動控制:微型真空氣閥,可連接φ3mm軟管
可通入氣體: 多種
機械泵: 2L/S (120L/min)