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Zeta-200是集三維成像和計量功能于一身的先進自動化表面測量系統。它功能配備齊全、使用方便，是自動三維測量系統中性能價格比最優的選擇。Zeta-200能夠自動採集樣品上多點的工藝參數，如臺階高度、體積、尺寸及粗糙度等，為您提供監控及優化生產流程所需的數據。

典型的系統配置包括：

• 放大倍數為5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物鏡
• 1/3英吋CCD相機; 0.5倍耦合鏡
• 自動Z軸，30毫米驅動範圍
• 自動XY載物台，200毫米x 200毫米驅動範圍
• 具有3GB內存和320GB硬盤的電腦，24英吋顯示器，以及澤塔三維功能軟件

三維表面瀏覽 :

傾斜，旋轉，縮放，濾波
體積計算

二維表面分析 : 

特征尺寸，直徑，面積
圖案間距，標準偏差
表面粗糙度
區域平均臺階高度

輪廓測量
臺階高度
粗糙度參數
多橫截面分析
平均值測量標尺
點對點測量標記
傾斜度和表面波度補償
陣列式采樣序列
自動數據與圖像輸出用於生產線SPC

Zeta-20是一個設計靈巧、功能齊全且經濟實惠的三維成像及測量系統。澤塔的Z-點陣專有技術可快速地對圖案化藍寶石基板、太陽能電池、微流體通道以及其它昂貴系統所不能測的表面進行成像。非接觸式測量加上零維護成本使得Zeta-20成為同類產品中性能價格比最優的選擇。

典型的系統配置包括：

• 放大倍數為5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物鏡
• 1/3英吋CCD相機; 0.5倍耦合鏡
• 自動Z軸，30毫米驅動範圍
• 手動XY載物台，100毫米x 100毫米驅動範圍
• 具有3GB內存和320GB硬盤的電腦，24英吋顯示器，以及澤塔三維功能軟件

三維表面瀏覽 :
傾斜，旋轉，縮放，濾波
體積計算

二維表面分析 :
特征尺寸，直徑，面積
圖案間距，標準偏差
表面粗糙度
區域平均臺階高度

輪廓測量
臺階高度
粗糙度參數
多橫截面分析
平均值測量標尺
點對點測量標記
傾斜度和表面波度補償