首頁 > 產品信息 > 電子、電力 > 儀器、儀表 > 自動化成套控制系統

MKS 626B/622B 系列壓力薄膜規，一個高性能的，金屬薄膜的壓力傳感器，±15VDC 的輸入和 0-10VDC 的模擬線性輸出信號，它可以和 MKS 壓力顯示器連接，也可以和其他滿足要求的控制儀器相連接。真空或壓力的變化造成了傳感器內部的金屬薄膜的位置變化，金屬薄膜的變化通過一個信號處理輸出電路轉換成一個可用的輸出信號，提供非常快速的響應速度（小於 20 毫秒） ，非常低的滯后效應，傑出的可靠性和很高的分辨率（全量程的 0.001%） ，優良的抗腐蝕能力，雙面焊接的結構保証了操作的安全性。傳感器本身可以承受重複的高壓至 45Psia（3.1Bar）而不會有任何的漂移和變形。

MKS 626B/622B 系列薄膜規是在常溫下工作的，它的全量程範圍從 0.1Torr  到 1000Torr，適合於工業製造，電子，研發等工業領域。

產品特點：
● 直接測量腔體的壓力值，與氣體類型無關
● 長期的輸出穩定性保証了在任何應用中的現代技術發展的要求
● 耐熱的鎘鎳鈦合金薄膜在化學反應環境中將不會有任何的損坏，包括鹵素，
電離水，蒸汽和臭氧
● 高的可靠性保証了偶然的系統意外造成的損坏
● 符合歐洲 CE，EMC 標誌

技術參數：
測量範圍：1.0*10ˉ1 到 1000 Torr
          或 1.3*10ˉ1 到 1300 Mbar
          或 13 到 130000 Pascal
週圍溫度：0-50℃
過壓限制：45 psia
響應時間：小於20毫秒
電源要求：±15VDC,35ma
模擬輸出： 0-10VDC,線性輸出
測量精度：小於讀數值的 0.25%。
分辨率：滿量程的 0.001%
開機預熱時間：無需
安裝方向：任意方向
內部容積：6.3 立方釐米
材質：不鏽鋼，鋁合金（暴露于工藝腔體中部分為耐熱的鎘鎳鈦合金薄膜）
重量：97 克 
法蘭形式：1/2”Tube,8 VCR,8VCO,KF16,KF25.

安  裝：
儘管壓力計可以安裝在任何方向，但是為了防止任何外部的東西進入壓力計入
口而造成膜片的損坏，我們還是建議將 MKS壓力薄膜規的入口朝下安裝。
盡可能的遠離震動，滿量程在 0.05Torr，0.1Torr 和 1Torr 壓力計是最敏感的，
應當將壓力計遠離所會產生的震動源。
檢查 零點：
在初始操作前需要檢查壓力計的零點並且以後要定期檢查，零點的設定可以通過調整位於壓力計上方的零點電位計或者用 MKS 壓力控制器的前面板上的來操作，在零點調整前，壓力計必須工作在很穩定的狀態下。