產品描述
無掩模光刻機
無掩膜光刻機型號 DS-2000/1.0型
1.技術特征採用DMD作為數字掩模,像素1024×768
採用1倍縮小投影光刻物鏡成像,一次曝光面積約14mm×10mm
採用專利技術——積木錯位蠅眼透鏡實現均明。
採用進口精密光柵、進口電機、進口導軌、進口絲杠實現精確工件定位和曝光拼接,
可適應100mm×100mm基片。
2.技術參數
光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線);
照明均勻性:±2%;物鏡倍率:1倍
曝光場面積:14mm×10mm 光刻分辨力:14μm
工件台運動範圍:X:100mm、 Y:100mm;
工件台運動定位精度:±1.5μm;
調焦台運動靈敏度:1μm;
調焦台運動行程:6mm 轉動台行程:±6°以上
基片尺寸外徑: Ф15mm—Ф100mm,
厚度:0.1mm--5mm
3.外形尺寸:840mm(長)×450mm(寬) ×830mm(高)
無掩模光刻機系統關鍵技術:曝光光學系統、光勻化技術、圖形發生器、投影物鏡、對焦系統、對準系統、精密工件台、步進拼接、控制軟件等
產品圖片
圖 1
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