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硅料檢測分選儀-產品特點

金屬四探頭電阻率方阻測試儀 - HS-MPRT-5

本儀器用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器.本儀器按照半導體材料電阻率的國際及國家標準測試方法有關規定設計。 它主要由電器測量部份（主機）及四探頭組成，需要時可加配測試架。 為減小體積，本儀器用同一塊數字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恆流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產品檢測。對1～100Ω·cm標準樣片的測量偏差不超過±3%，在此範圍內達到國家標準一級機的水平。

金屬四探頭電阻率方阻測試儀 - 產品特點
■ 採用金屬探頭，游移率小，穩定性高。
■ 儀器採用220V交流電源供電
■ 適用於西門子法、硅烷法等工藝生產原生多晶硅料的企業”
■ 適用於物理提純生產多晶硅料生產企業
■ 適用於光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
■ 具有抗強磁場和抗高頻設備的性能

金屬四探頭電阻率方阻測試儀 - 技術指標
■ 電阻率：0.01～199.9Ω·cm
■ 方塊電阻：0.1～1999Ω/口
■ 直流數字電壓表  測量範圍：0～199.9mv

              靈敏度：100μv

準確度：0.2%（±2個字）
■ 電源： AC 220V ± 10% ， 50HZ
■ 功耗：最大功耗 ≤10W ，平均功耗≈ 8W

金屬四探頭電阻率方阻測試儀 - 典型客戶
 江蘇、浙江、廣東、湖南湖北、內蒙古、河南等地的CZ直拉單晶及鑄錠客戶。