型號: | AMC-8000 |
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品牌: | APCO |
原產地: | 日本 |
類別: | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 電工儀器儀表 |
標籤︰ | 精密划片機 , 划片機 , 切割機 |
單價: |
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最少訂量: | - |
最後上線︰2020/10/11 |
郵箱地址:info@pcm-bj.com QQ:1606737747 手機號碼:13426411645
日本APCO公司精密划片機系列,型號包括AMC-7600,7800,8000。適用於TEM(透射電鏡)和SEM(掃描電鏡)等的樣品制備工作,廣氾應用於硅片、光掩膜、液晶顯示器用TFT、石英、集成電路器件等樣品橫斷面的切割。划片精度±2.5微米,適用於最大達8英吋,厚度0.6至10毫米樣品,可確保獲得光滑的橫斷面以便於進一步觀察。具有CPU控制,操作簡便,制備速度快,可以刻劃平坦或彎曲的樣品。目前,包括東芝、索尼、愛普生、IBM、菲利普、NEC等許多國際知名的半導體製造商都在使用APCO的產品。
AMC-8000切割機(精密划片機)
《AMC-8000簡要規格》
一.特點
二.主要規格
1.適用材料尺寸 8英吋 10mmt
2.工作台移動距離 X=50mm Y=230mm θ=360度
3.劃線精度 ±15um
4.光學系統 單筒收縮顯微鏡 實體顯微鏡
5.監測 CCD+14~20英吋彩顯
6.顯示倍率 22~800倍
三.切割壓力設定實例
石英 8.85mmt 約45N
石英 3.00 約30N
石英 2.30 約25N
玻璃 10mm(14”CRT) 約55N
玻璃 0.8mm 約12N
Si 0.7mm 約5N
顯象管 10mm
硅片(Si、InP)
四.切成片實例
6025石英掩膜→6.35mm×約5mm×約5mm
1.2mmt玻璃 →1.2mm×約5mm×約50mm
0.7mmt硅片 →0.7mm×約4mm×約4mm
3mmt InP片 →0.3mm×約0.5mm×約5mm
五.刀壓設定很容易
刀壓由旋鈕自由設定。對一種試樣,可改變幾次設定值試划,便可得到合適的刀壓。以合適刀壓劃線后,用附屬的專用切斷鉗很容易切斷。
六.劃線設定簡單
只要將劃線端點對準OM表針中心位置,按壓設定指令按鈕即可,此位置即為劃線起點或終點。
最大設定12點(間隔劃線最大可設定5點)設定后,裝置即自動划片。
七.划刀壽命長(1年以上)的理由
八.帶有聲響警告裝置,在下列情況下裝置警告且不工作
九.安全保証
漏電切斷,無熔線斷路器。
AMC-8000補充說明
本機不是大批量生產用的,而是在使用SEM觀察各種半導體硅片、各種玻璃材料等不良部位及試制品合格與否時,為其製作試樣用的機器。使用該機的主要時研究開發部門、品質管理部門、分析/解析部門。
本機的特點及剖面SEM試樣的加工工藝如下:
一.特點
二.加工工藝過程:
三.劃線精度:
AMC-7600 ±15um
AMC-7800 ±15um
AMC-8000 ±2.5um
四.劃線寬度由試樣和劃線加工條件而異,約為數100 um
五.最大5點跳躍間隔劃線,如后圖所示,用顯微鏡觀察試樣表面時,如果觀察部分遭到破坏,便無法觀察,本機可預先設定好劃線坐標位置,自動地跳過要觀察的部位,這樣便不會划傷要觀察的部位了。而且一次劃線可取得5個要觀察的位置。
但條件是硅片等結晶材料,其觀察部位要沿結晶方向在一條直線上。
六.划刀價格:15000-30000日元。(屬日本國內價格,且帶刀架)。
七.划刀壽命:以加工硅片為例,每年需換2-3次刀。
八.ABK-5切斷機的使用方法:
郵箱地址:info@pcm-bj.com QQ:1606737747 手機號碼:13426411645