產品描述
一、太陽能擴散爐簡介
北京晶伏華控電子設備有限公司 生產的 JFHK-KSII雙管微控太陽能擴散爐 專用於在實驗室中對2.5cmX2.5cm的太陽能電池方片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝,具有工藝穩定,自動化程度高等特點,是理想的科研設備。
二、太陽能擴散爐主要技術指標
1、外型形式:臥式雙管結構
2、加熱方式:電阻絲(瑞典KANTHAL)
3、恆溫區長度:400mm
4、工藝管:優質氣煉石英管,配石英管清洗槽,耐氫氟酸
5、石英舟:單次可裝載20片2.5cm×2.5cm方形硅片,背靠背裝片模式
6、硅片尺寸:厚度為200μm左右,2.5cmX2.5cm方片
7、送、取片方式:熔凝石英推拉杆,手動將石英舟推入、拉出石英管送、取片
8、擴散方式:配置2套恆溫源瓶,支持液態擴散方式
9、溫度控制:日本原裝RKC控溫儀,三段控溫技術
10、工作溫度範圍:400-1250℃
11、恆溫區精度:上管:600℃ <工作溫度<1250℃ ±0.5℃ /400mm
400℃ ≤工作溫度≤600℃ ±1℃ /400mm
下管:600℃ <工作溫度<1250℃ ±0.5℃ /400mm
400℃ ≤工作溫度≤600℃ ±1℃ /400mm
12、單點溫度穩定性、重複性:上管:600℃ <工作溫度<1250℃ ±0.5℃ /400mm
400℃ ≤工作溫度≤600℃ ±1℃ /400mm
下管:600℃ <工作溫度<1250℃ ±0.5℃ /400mm
400℃ ≤工作溫度≤600℃ ±1℃ /400mm
13、升溫斜變能力:最大可控升溫速率:18℃/min 最大可控降溫速率:5℃ /min
14、升溫功率:≤15KW/管
15、氣路系統:國產質量流量計+PLC控制,上下兩管共配有大N2、小N2、O2、 H2四路工藝氣體,通過閥門切換供上管或下管使用。
16、氣路系統氣密性:1×10-7 Pa·M3/S
17、控制系統:PLC+觸摸屏自動控制整個工藝流程, 自動/手動方便切換,溫度和氣流隨時間變化的單獨控制
18、尾氣處理:設備配有尾氣處理系統
19、電源:三相五線380V、50Hz
北京晶伏華控電子設備有限公司可根據客戶需求定製各種非標: 實驗室熱處理電阻爐、管式爐、太陽能擴散爐、熱處理爐、高溫爐、燒結爐、擴散爐、焊接爐、硒化爐、氣氛爐、烤盤爐、擴散爐控制系統、真空爐、昇華爐、隧道爐、氧化爐、退火爐、LPCVD爐、氫氣爐、工業爐體等各種工業電爐、實驗電爐等高溫設備。專業團隊個性化定做,廠家直接供貨,歡迎廣大客戶來電來函。
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