產品描述
一、快速退火爐簡介
JFHK系列 快速退火爐 又名： 快速燒結爐、快速昇降溫爐、快速爐、RTP快速退火爐、RTP退火爐， 仿造國外進口設備，採用大功率紅外線輻射方式，配合腔體內鍍金反射層，使單片硅片快速升溫。降溫時紅外線燈管停止工作，大流量壓縮空氣（或冷卻氮氣）迅速帶走腔體內熱量，實現快速降溫。
二、快速退火爐主要技術指標
1、外型形式：臺式，單片硅片
2、硅片尺寸：156*156方片
4、最高工作溫度：1000 ℃
5、單點溫度穩定性、重複性：±0.5 ℃
6、溫度均勻性：±1℃（900℃以上）
7、升溫速率：0 - 100 ℃/S 可調
8、降溫速率：0 - 100 ℃/S 可調
9、恆溫時間：0 - 600 S
10、加熱功率：18根（每根1.5KW）紅外線燈管，總功率27KW
11、鋁合金爐膛：鋁合金水冷鍍金爐膛，導熱性能好，有效提高降溫速率
12、石英爐膛：石英爐膛為可拆卸結構，當爐膛內被煙霧污染，導致升溫速率降低時，可將石英爐膛拆下清洗
北京晶伏華控電子設備有限公司可根據客戶需求定製各種： 非標高溫爐、管式爐、快速燒結爐、快速退火爐、快速昇降溫爐、快速升溫爐、快速降溫爐、真空燒結爐、焊接爐、IGBT焊接爐、真空焊接爐、實驗室焊接爐、真空爐、烤盤爐、真空烤盤爐、CVD烤盤爐、MOCVD烤盤爐、擴散爐、退火爐、合金爐、交換爐、昇華爐、氧化爐、氣氛爐、氫氣爐、CVD爐、隧道爐及工業爐專用爐體 等各種工業、實驗室用熱處理設備。
產品圖片
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