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非接觸厚度電阻率測試儀 1
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非接觸厚度電阻率測試儀

型號:XH-308B
品牌:-
原產地:中國
類別:冶金礦產、能源 / 新能源 / 太陽能設備
標籤︰ -
單價: -
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北京羲和陽光科技發展有限公司

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產品描述

XH-308B無接觸式硅片厚度電阻率測試系統

XH-308B採用高精度的厚度及電阻率探頭,配以強大的軟件控制,可以用多種方式進行無接觸式測量,使得測試過程變得十分高效。系統採用一體化設計,結構緊湊,安裝方便。使用者在操作平臺上轉動硅片,測試數據可即時顯示,並可對測試數據進行分析處理。高精度電容式厚度探頭和電渦流式電阻率探頭,保証測試結果精確且穩定。XH-308B可廣氾使用於研究、生產及質檢等場所,友好的人機交互界面,使用相當便捷。

 
技術參數    
硅片規格:
     方片125x125mm、156x156mm
     圓片3″、4″、5″、6″、8″
測試功能
     厚度:單點及多點厚度
     TTV:總厚度偏差
     體電阻率:單點及多點體電阻率
測試指標
     厚度範圍:150~1000μm
     測量誤差:≤±1.0μm
     重複性:≤±0.20μm
     TTV範圍:0.00μm~200.00μm
     測量誤差:≤±0.50μm
     重複性:≤±0.20μm
     體電阻率範圍:0.1Ω.cm~30.0Ω.cm
     測量誤差:≤±3%
     重複性:≤1.5%
設備尺寸/重量:470mm(L)x420mm(W)x600mm(H)/20Kg
測試環境要求:溫度範圍15~27℃
濕度範圍:35%~85%
電源要求:220VAC,50Hz
控制器:高性能主機

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非接觸厚度電阻率測試儀 1
圖 1

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