擴展電阻測試儀 型號:進口 擴展電阻法是利用特殊的點接觸金屬探針,沿着樣品的表面 ,以微小的步進測出半導體材料或器件表面的每一點的擴展電阻值,由此得到電阻、電阻率和載流子濃度(摻雜雜質濃度)及其分布的一種測量技術。 本儀器適用於檢測P型和N型硅單晶微電阻率均勻性,檢測擴散層的微區電阻率變化也可用於硼磷擴散工藝的監控,同時該儀器還可以測量銻化銦、砷化鎵濃度的相對變化量 。