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Tergeo EM型SEM及TEM樣品/樣品杆清潔專用等離子清潔儀

美國PIE Scientific專注研發先進的實驗室用等離子儀器，用於SEM/TEM樣品清潔、光刻膠蝕刻、等離子體增強沉積、表面處理與活化。我們的宗旨是：將半導體和核工程研究中開發的最新等離子技術集成到經濟實用的實驗室用等離子儀器。

專為去除SEM & TEM樣品的碳氫污染而設計。特有的雙清洗模式（immersion和downstream）能夠處理各種不同的樣品，從嚴重污染的電子光學孔徑光闌到各種脆弱易損樣品，如石墨烯、碳納米管、類金剛石碳膜以及多孔碳支持膜銅網上的TEM樣品。石英樣品托板上的孔洞可以安裝標準SEM樣品托。特別設計的適配器可以清潔不同廠家的TEM樣品杆。

特點：

1. 系統具有雙等離子源。浸入式等離子源用於主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用於溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化

2. 13.56MHz高頻射頻發生器

3. 7英吋觸摸屏控制界面，全自動操作

4. 標配75W版本，可選150W版本

5. 標配2路氣體輸入，可選第三路氣體輸入

6. 可選與FEI、JEOL、HITACHI等TEM樣品杆配套的專用適配器

7. AC輸入：通用(110~230V, 50/60Hz)

除了Tergeo EM型SEM & TEM樣品清潔專用等離子清潔儀，另有Tergeo Basic基本型等離子清潔儀和Tergeo Plus型大腔室等離子清潔儀，歡迎選購！