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1、 清洗性能好。碳氫清洗劑與大多數的潤滑油、防鏽油、機加工油同為非極性的石油餾分，根據相似相容的原理，碳氫清洗劑清洗這些礦物油的的效果要好于鹵代烴和水基清洗劑。

2、 無毒。經毒理試驗，碳氫清洗劑的吸入毒性、經口毒性和皮膚接觸毒性均為低毒，且不屬於致癌物質，與鹵代烴相比對清洗操作人員更安全。

3、 材料相容性好。碳氫清洗劑中不含水份和氯、硫等腐蝕物，對各種金屬材料不會產生腐蝕和氧化。另外，由於其屬於非極性溶劑，對大部分塑料和橡膠沒有溶解、溶脹和脆化作用，因此應用範圍極廣。

4、 可徹底揮發無殘跡。碳氫清洗劑是非常純淨的精製溶劑，在常溫和加溫狀態下均可完全揮發，沒有任何殘留。

5、 不破坏環境。碳氫清洗劑可以自然降解，清洗廢液可以放入燃煤或燃油鍋爐中焚燒，焚燒的生成物主要為CO₂和水，對空氣沒有污染。碳氫清洗劑中不含氯，對臭氧的破坏係數為零。

6、 價格便宜。普通碳氫清洗劑的價格相當于F-113價格的50%以下，是某些ODS替代品價格的二十分之一。由於碳氫清洗劑的密度為0.75左右，大大低於鹵代烴溶劑的密度，因此在同樣容積的清洗槽中碳氫清洗劑的加入量僅為鹵代烴清洗劑的一半。

7、 蒸發損失小。碳氫清洗劑沸點一般在150℃以上，在使用保管過程中揮發損失要比沸點在40~80℃的鹵代烴小得多，對包裝物和設備的密封要求很低。

8、 儘管碳氫清洗劑有諸多優點，但與ODS清洗劑相比，其沸點高（150～190℃）而閃點低（ 50～70℃）。雖然較高的沸點可以減少清洗劑在儲存、運輸和使用過程中的揮發損耗，但也使清洗后工件的乾燥速度大大降低，使清洗劑的蒸餾再生變得困難。較低的閃點則提高了清洗、乾燥和蒸餾再生中的防火要求。（見附表1：常用碳氫清洗劑與鹵代烴清洗劑沸點和閃點比較）

9、 為了使經濟適用的碳氫清洗劑得到更好的利用，日本企業將真空技術應用到清洗設備中，開發出一種全新的清洗設備——真空清洗乾燥機，徹底克服了碳氫清洗劑的弱點，使碳氫清洗在日本得到廣氾的應用。