產品描述
儀器簡介：
英國Q150GB渦輪泵高真空、模塊化鍍膜系統，自動程序控制，傻瓜相機式的簡單操作。其鍍膜單元可置於各種手套箱內，外置觸摸屏用戶界面、電源單元和前級機械泵。可監測手套箱壓力。該系統不同的配置可以實現離子濺射鍍膜、碳蒸發/金屬蒸發鍍膜或濺射蒸發二者兼有之功能，可用於SEM、TEM及薄膜樣品鍍膜，也常用於鋰電池科研等需要在手套箱內鍍膜的樣品。
技術參數：
技術規格
儀器尺寸:267mm W x 490mm D x 494mm H 總重量:40公斤
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃152mm Dia (內部) x 214mm H
安全鐘罩:整體PET
樣品台：直徑為50mm的旋轉樣品台。轉速8-20 rpm
真空範圍: 10-5 mbar量級
濺射可選靶材：
Au金、Au/Pd金鈀合金、Pt鉑、Pt/Pd鉑鈀合金、Ag銀、Al鋁、C碳、Cr鉻、Co鈷、Cu銅、Fe鐵、Ir銥、Mg鎂、Mo鉬、Ni鎳、Pd鈀、Sn錫、Ta鉭、Ti鈦、W鎢、ITO氧化銦錫等
蒸發源：可選用碳棒進行熱蒸發鍍碳，也可使用鎢絲籃或鎢舟/鉬舟進行熱蒸發鍍各種金屬膜。
主要特點：
• 可安裝在手套箱內的模塊化系統
• 整體手套箱壓力監測
• 金屬濺射、碳蒸發 – 或二者兼有
• 觸摸屏控制模塊置於手套箱外部操作
• 鍍膜顆粒精細
• 高真空渦輪分子泵抽真空
• 可選通過膜厚監控儀實現厚度控制
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產品圖片
圖 1
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