產品描述
SQC310膜厚控制儀
產品簡介：
inficon SQC310膜厚控制儀憑借先進的電子元件，高級的顯示器，以及經濟實惠的價格，INFICON SQC310膜厚控制儀為您提供在競爭對手的膜厚控制儀上難以找到的一系列功能。 您可以選擇最適合自己應用的型號：連續沉積(SQC310) 或共沉積 (SQC310C),是MDC-360C的最佳替代。 產品詳細 SQC310膜厚控制儀 的詳細介紹
高精確連續沉積控制或共沉積控制
SQC310厚控制儀為您提供其它生產廠薄膜控制儀所沒有的性能與特色. 同時可為您的應用選擇理想的模式: 順序鍍膜(SQC310) 或共鍍膜 (SQC310C).用於順序鍍膜, SQC310石英晶體膜厚控制儀裝備有 2 個傳感器輸入, 2個源輸出, 和8個數字輸入/輸出, 提供為這些數量加倍的擴展插件板選件用於共鍍膜, SQC310C石英晶體膜厚控制儀監測多至 4 個石英晶體傳感器, 帶有 4 個PID 控制輸出, 16個數字輸入, 和16個繼電器輸出, 其他的則與SQC310 的規範相同。
SQC310膜厚控制儀功能概覽
高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
標準 RS-232 或 USB（帶有以太網選項）
設有“Quick Setup”（快速設定）菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕，易於設定和操作
Windows® 程序，用於開發、測試和下載過程，以及用於將儀器數據錄入 PC 中以供過程分析和質量控制使用
精確的過程控制，尤其適用於低沉積速率，測量速率為每秒 10 個讀數，測量分辨率為 ±0.03 Hz，0 至 50C 溫度範圍內頻率穩定度為 ± 2 ppm
存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
使用單傳感器或多傳感器監控源材料，提供精確的源分布監控
SQC310膜厚控制儀選型：
產品圖片
圖 1
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