產品描述
CDG045D電容膜片真空計
產品簡介:
瑞士inficon CDG045D電容膜片真空計,45°C SKY® 電容膜片真空計 前所未有的滿刻度穩定性 ,是實現高精確總壓測量與控制的理想之選。 產品詳細 CDG045D電容膜片真空計 的詳細介紹
CDG045D電容膜片真空計的溫度控制在 45 o C,具有卓越的信號穩定性和可重複性。 在 100m Torr 至 1000 Torr 滿刻度範圍內均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數壓力信號。 INFICON 電容式壓力計採用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。 INFICON CDG 壓力傳感器品質卓越,極具成本效益,適用於苛刻的真空應用。
CDG045D電容膜片真空計益處:
擁有成本更低,預熱速度快 50%,節能,低功耗
易於集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點
輕鬆一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調零點偏移
診斷端口便於快速服務與維護
兩年保修服務,先進的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
卓越的信號穩定性和可重複性,即使是最嚴苛的等離子應用,都無需長期執行重新校準
合規性和標準: CE、EN、UL、SEMI、RoHS
CDG045D電容膜片真空計典型應用:
蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產過程
化學和腐蝕性過程
一般薄膜和真空過程
作為基準儀器監控測試儀器是否符合國際標準
符合傳遞標準,確保測量可追溯性
CDG045D電容膜片真空計選型指南:
產品圖片
圖 1
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