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HPG400皮拉尼高壓熱離子真空計
產品簡介：
瑞士inficon HPG400皮拉尼高壓熱離子真空計，在 2 x 10-6 毫巴至大氣壓範圍內提供準確濺射過程壓力控制的高重複性和再現性測量 產品詳細 HPG400皮拉尼高壓熱離子真空計 的詳細介紹

INFICON HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計將高壓熱電離技術與皮拉尼傳感器整合在一個體積小、價格低的規管中，可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）範圍內的壓力。 HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計提供高可重複性和再現性壓力測量，精確控制濺射過程。


HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計益處HPG400 可節省成本和工具空間，降低真空系統安裝與設置的複雜性
高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴範圍內的壓力，進而改善過程控制
用戶可選的熱離子發射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒燬
備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
RoHS 合規
HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計典型應用半導體製造、電子和媒介產業中的濺射應用
工業鍍膜
低真空和高真空範圍內的一般真空測量和控制
HPG400高壓熱電離皮拉尼真空計選型指南：
HPG400
零件號 說明
353-520 皮拉尼真空計
353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526 HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F
353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

附件HPG400
零件號 說明
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
353-511 BPG400 24V電源

備件HPG400
零件號 說明
354-487 HPG400 備用傳感器
354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F