型號: | wyko 9100 |
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品牌: | bruker/vecco/wyko |
原產地: | 美國 |
類別: | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 分析儀器 |
標籤︰ | wyko 9100 , 輪廓儀 , 納米級粗糙度 |
單價: |
-
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最少訂量: | - |
最後上線︰2022/06/09 |
vecco wyko 光學輪廓儀 bruker 3d 輪廓儀 粗糙度儀 納米級 華南
實現更快,更簡便測量
自動光學傾斜測量頭
全自動X,Y, Z樣品台
自動光鏡轉塔,放大鏡,和測試光選擇
更靈活而穩定的防震
集成式充氣式防震台
高穩定度,空間節省
更強大的測量和分析
簡單明瞭,人性化的工作流程
實時自動優化測量
完整的數據分析軟件包
可定製的分析報告
測量高效
布魯克獨有的傾斜測量頭為用戶提供了極大的靈活性,實現快速測量和觀察。通過在在顯微鏡頭中結合頭部傾斜功能,布魯克這一技術實現了將觀察位置始終保持在焦平面處,為用戶實際使用時帶來了很大便利。
準確追蹤和使用的簡便性對於在不同表面上快速檢測是至關重要的,這樣在批量測試時速度也大大提高。
這一特點結合樣品台與物鏡的電動控制使得三維光學顯微鏡Contour GT-I 成為了具有較小佔地卻能同時滿足多種測試要求的測量平台。
業界最方便靈活的測量方式
除上述優點外,三維光學顯微鏡ContourGT-I通過獨有的設計直接在機臺上集成防震系統,使其直接滿足各種環境條件,包括工廠,實現迅速準確地測量。
這一經過嚴格測試的防震系統為用戶提供不折不扣的優化測試條件,從而得到重複性極佳的定量數據。
三維光學顯微鏡ContourGT-I為用戶在科研或生產環境下提供各類測試要求,保証優異,可計量的可靠測試結果。
最大掃描量程 | 可達10mm |
垂直分辨率 | <0.01nm |
RMS 重複性 (PSI) | 0.01nm |
臺階高度準確性 | 0.75% |
臺階高度重複性 | <0.1% 1 sigma repeatability** |
最大掃描速度標準相機 | 73 μm/sec |
樣品反射率 | 0.05%-100% |
最大坡度–光滑面 | 可達40° |
最大坡度–粗糙面 | Upto87° |
XY樣品台 | 150mm(6in.) 自動 |
Z調焦範圍和樣品高度 | 100mm(4in.)automated,(6in.) |
頭部傾斜 | ±5°自動 |
光學測量模塊 | 雙LED(專利)照明,單筒物鏡或轉塔,單個放大鏡或自動轉動放大鏡 |
物鏡 | 同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x |
長工作距離:1x,1.5x,2x,10x | |
TTM:2x,5x,10x,20x | |
明場:5x,10x,20x,50x | |
放大鏡 | 0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x |
相機 | 標配:640x480 |
高清(可選):1280x960 | |
彩色(可選):640x480 | |
軟件系統 | 基於Windows 7 64位操作系統的Vision64 分析軟件 |
可選軟件包 | 生產模式; Annular 分析; 分辨率提升模式高速自動對焦; 光學分析包; 高級成像模式; 厚膜測試模式; MatLab; PSS(圖案化藍寶石襯底)測試模式 |
校準 | 可溯源的臺階高度標準樣 |
佔地 | 450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H) |
最大可測樣品重量 | 十公斤 |
系統總重 | 六十公斤 |
保修期 | 12 個月 |
在8um及以上的臺階高度標樣上測得.
VSI模式下對10μm臺階測試重複性指標. 平均標準偏差<10nm.