型號: | CL |
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品牌: | 晨立 |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
標籤︰ | 擴散爐 , 氧化爐 , 高真空退火爐 |
單價: |
¥250000
/ 台
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最少訂量: | 1 台 |
最後上線︰2025/02/28 |
晶圓真空退火爐主要用於半導體晶圓在高真空環境下的低溫退火。
尺寸:4-8英吋晶圓
晶圓舟:標準25片
控溫精度:±3℃
升溫速率:10℃/min
潔淨等級:百級潔淨
真空度:5*10-4 Pa
使用溫度:200-550度