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一、管式擴散爐用途
管式擴散爐是我公司根據客戶需求個性化專業定製的高溫熱處理設備，用於大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，我公司的高溫電爐關鍵部件全部採用進口部件，仿國外先進熱處理製造技術，已經被中科院、國內各大院校、國內多家知名廠家選為長期供貨商，專業團隊設計製造，可根據客戶不同需求定製，廠家直接供貨，質優價廉。

二、管式擴散爐主要技術參數                             

◆工藝管數量：1-4管

◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英吋）

◆工作溫度範圍：400～1280℃

◆恆溫區長度及精度±0.5℃/1080mm

◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆氣體流量設定精度:±1％F.S

◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆超淨工作台：淨化等級：100級（萬級廠房） 噪音：≤62dB（A） 震動：≤3μm

◆控制方式： 工業微機控制

◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制

我公司可根據客戶要求，專業定製各式擴散爐、退火爐、燒結爐、真空焊接爐、CVD爐、加熱

電爐及加熱裝置等，歡迎廣大客戶來電咨詢。