| 型號： | CL |
|---|---|
| 品牌： | 晨立 |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
| 標籤︰ | 擴散爐 , 立式擴散爐 , 退火爐 |
| 單價： |
¥190000
/ 台
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| 最少訂量： | 1 台 |
| 最後上線︰2025/02/10 |
用途：
該設備用於半導體生產工藝過程中的高溫擴散，燒結，退火等工藝。該系統具有精確儀表控制系統，具有高密封性和抗腐蝕性的高純氣路系統。該設備主要適合於8英吋工藝硅片的處理。
結構形式：立式
使用溫度：1200℃
恆溫區：750mm
控溫精度：±2℃
