產品描述
CVD氣相沉積爐
化學氣相沉積爐應用領域
化學氣相沉積爐(沉積炭)可用於以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
化學氣相沉積爐產品規格
產品型號/規格W×H×L(mm) |
600*600*1000 |
800*800*1200 |
1000*1000*1500 |
1200*1200*2500 |
1500*1500*3000 |
2500*2000*3600 |
裝載重量(KG) |
350 |
800 |
1500 |
2500 |
5000 |
10000 |
最高溫度(℃) |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
溫度均勻性(℃) |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
±10 |
±10 |
±15 |
加熱功率(kw) |
250 |
360 |
480 |
600 |
900 |
1200 |
極限真空度(Pa) |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
壓升率(Pa/h) |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。 |
化學氣相沉積爐主要配置
爐門:絲杠昇降//液壓昇降/手動昇降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
爐殼:全碳鋼/內層不鏽鋼/全不鏽鋼
爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產
真空泵和真空計---進口/國產
PLC:歐姆龍/西門子
控溫儀表:日本島電/英國歐陸
熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產
人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機
電器元件:正泰/施耐德/西門子
料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
化學氣相沉積爐技術特征
本化學氣相沉積爐最大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;
本化學氣相沉積爐採用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
本化學氣相沉積爐採用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
本化學氣相沉積爐採用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。
產品圖片
圖 1
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