| 型號： | frd-05 |
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| 品牌： | 福潤德 |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
| 標籤︰ | 爐體 , 擴散爐爐體 |
| 單價： |
-
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| 最少訂量： | 1 台 |
| 即時通訊: | 最後上線︰2023/01/07 |
| HTML代碼︰ | 加熱爐體 可完全代替進口爐體,優質加熱爐絲,進口保溫材料,採用國外先進加工工藝,爐體可長期使用在高溫下,處理12英吋以下硅片,工作溫度2000℃-1286℃。 設備特點: 可保存多條工藝曲線每條曲線可設置多步 工藝曲線的自動運行控制功能 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能 自動運行中可暫停/繼續運行功能 可存儲多組PID參數供系統運行調用功能 PID參數自整定功能 技術指標: 可配置工藝管外徑2~8英吋 可配置工藝管數量:1~4管/台 工作溫度範圍:400~1300℃ 恆溫區長度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃ 單點溫度穩定性:800~1300℃±0.5℃/24h |
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