專業製造福潤德lpcvd設備

型號：	frd-12
品牌：	福潤德
原產地：	中國
類別：	工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰	lpcvd設備
單價：	¥1 / 台
最少訂量：	1 台

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青島福潤德微電子設備有限公司

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最後上線︰2023/01/07

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HTML代碼︰	LPCVD 用於澱積Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。廣氾應用於半導體集成電路、電力、電子、光電子及M等行業的生產工藝中。 ■ 設備主要特點 ◆ 對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應室壓力實現自動控制。 ◆ 採用進口壓力控制系統,閉環控制,穩定性強。 ◆ 採用進口耐腐蝕不鏽鋼管件、閥門,確保氣路氣密性。

HTML代碼︰

LPCVD 用於澱積Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。廣氾應用於半導體集成電路、電力、電子、光電子及M等行業的生產工藝中。

■ 設備主要特點

◆ 對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應室壓力實現自動控制。
◆ 採用進口壓力控制系統,閉環控制,穩定性強。
◆ 採用進口耐腐蝕不鏽鋼管件、閥門,確保氣路氣密性。