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1、  低溫探針台工作原理： 低溫探針台可用來測試芯片、晶圓片和封裝器件應用領域包括半導體、MEMS、超導、鐵電子學、材料科學以及物理和光學等探針可以施加直流、低頻信號或微波信號等（可選一到八探針）高效率連續流低溫恆溫系統使用液氦或者液氮可使溫度控制在3K到475K（可選600K）各類無制冷劑制冷系統（Basetemperature:5K,8K,10K等）可施加各類磁場（永磁體、電磁體和超導磁體） 2、低溫探針台型號及技術參數如下：

CPS-25-CF-HV-10K

無氦低溫探測台

用於10K到460K

成本效益，穩定，可靠，使用方便  可達25mm直徑的晶片

- 溫度範圍從4.5K到470K（0.1K或更好的精度和穩定性）

- 閉環循環制冷機

- 高達25mmx25mm樣品表征

- 選擇DC至67GHz的測量與合適的探頭

- 4 微控探針臂（最多8個，可以在可選的配置），以高度準確的XYZ和任選θ調整，具有可達4英吋X，1.75英吋Y和0.5的英吋Z

- 熱錨定探針針尖

- 溫控輻射屏蔽

- 改進真空等度的組件的

- 方便的頂部觀察窗口（高純度的石英）

- 高頻振動阻尼

- 定製的高水平，以適應各種的探測需求

詳細參數

可達25mm，50mm以上100毫米

無液氦閉路循環制冷機，包括冷頭，壓縮機，制冷機和氦軟管

溫度範圍：低於10K到480K

控溫精度：0.1K

溫度分辨率：0.001K

熱錨探頭武器和輻射屏蔽

chuck溫控（加熱）盤

變焦70系統（4UM分辨率）標準，縮小125或160變焦系統可作為選件，以及更便宜的解決方案

同軸和環形照明LED照明

數碼相機從100萬像素到10百萬像素附帶相機的圖像和視頻捕捉軟件，以及尺寸測量能力

軟件進行計算機控制和溫度監控。幾個溫度測試序列是預編程和定製序列可以由最終用戶很容易地編程

 

 

CPS-100-CF-77K

無氦低溫探針台對於晶圓級測試在77K至480K

- 成本效益，穩定，可靠，方便使用可達100mm直徑的晶片

- 溫度範圍從4.5K到480K（0.1K精度）

- 閉環循環制冷機

- 高達2英吋直徑的表征樣品

- 選擇DC至67GHz的測量與適當的探頭

- 4 微控探針臂（最多8個，可以在可選的配置），以高度準確的XYZ和任選θ調整，具有最多4英吋X，1.75英吋Y和0.5英吋Z

- 熱錨定探針針尖

- 溫控輻射屏蔽

方便的頂部觀察窗口（高純度的石英）

- 高頻振動阻尼

- 定製的高水平，以適應各種的探測需求

詳細參數

可達25mm，50mm以上100毫米

無液氦封閉循環制冷機包括冷頭，壓縮機，制冷機和氦要求軟管

低於77K到480K

控溫精度：0.1K

溫度分辨率：0.001K

熱錨探頭武器和輻射屏蔽

chuck溫控（加熱）盤

窗口材料：熔融石英，定製材料和塗層可

變焦70系統（4UM分辨率）標準，縮小125或160變焦系統可作為選件，以及更便宜的解決方案

同軸和環形照明LED照明

數碼相機從100萬像素到10百萬像素附帶相機的圖像和視頻捕捉軟件，以及尺寸測量能力

軟件進行計算機控制和溫度監控。幾個溫度測試序列是預編程和定製序列可以由最終用戶很容易地編程

 

CPS-150-LN2/LHe-HV

液體低溫探針台適合全片的測試在5K至460K範圍

 

具有成本低，穩定，可靠，方便使用等特點

可達150mm直徑的晶片

- 溫度範圍從4.5K到470K（0.1K或更好的精度和穩定性，優于在低於250K50mK穩定性）無論是用液氮或液氦冷卻均可兼容

- 選擇DC到110GHz的測量與合適的探頭

- 4 微控探針臂（最多8個，可以在可選的配置），以高度準確的XYZ和任選θ調整，具有最多4英吋X，1.75英吋Y和0.5英吋Z

- 熱錨定探針針尖

- 溫控輻射屏蔽

方便的頂部觀察窗口（高純度的石英）

- 高頻振動阻尼

- 定製的高水平，以適應各種的探測需求

- 電動XY，XYZ或XYZ?夾頭位置調整作為選項帶有不同的範圍和分辨率

 

詳細參數

175毫米D，最多3個輔助夾頭可以安裝

液氮或液氦冷卻

溫度範圍：5K至480K可用

控溫精度：0.1K

溫度分辨率：0.001K

熱錨探頭武器和輻射屏蔽

窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定製材料和塗層可

同軸和環形照明LED照明

數碼相機從100萬像素到10百萬像素附帶相機的圖像和視頻捕捉軟件，以及尺寸測量能力

隔振

- 空氣減震系統隔振表

- 無振動隔離波紋管

- 在卡盤振動<30nm

 

CPS-CF

無氦低溫探針台

CPS-CF成本低，穩定，可靠，方便在非常低的溫度對器件和電路的探測。內置隔振，智能熱管理和工程熱補償，使這個系統非常適用於廣氾的納米電子學，從跨越應用程序（石墨烯研究，分子電子學等）。該系統採用閉式循環制冷機和專有的熱管理，具有經濟快速的操作。內置隔振的振動最小化符合行業標準的水平。超穩定的微操縱階段允許在設備功能的探針尖端的準確和可重複的接觸。探頭和硅片夾的多種選擇允許應用程序超精密，FA-規模的測量，射頻測量等等

 

具有成本低，穩定，可靠，方便的使用的優點

- 溫度範圍從4.5K到480K（0.1K精度）

- 閉環循環制冷機 成本低

- 高達2英吋的直徑樣品

- DC至67GHz的測量

- 4 微控探頭臂（最多8個提供選裝配置），高度精確的XYZ和可選θ調整

-熱錨定探針針尖

- 溫控輻射屏蔽

方便的頂部觀察窗口（高純度的石英）

- 高頻振動阻尼

- 定製的高水平，以適應各種的探測需求

 

詳細參數

可達50mm

無液氦 封閉循環制冷機包括冷頭，壓縮機，制冷機和氦要求軟管

溫度範圍：4.5K到480K，6.5K至480K，10K到480K

控溫精度：0.1K

熱錨探頭武器和輻射屏蔽

chuck溫控（加熱）盤

夾頭和探針臂的溫度監控

窗口材料：熔融石英，定製材料和塗層

變焦70系統（4UM分辨率）標準，縮小125或160變焦系統可作為選件，以及更便宜的解決方案

同軸LED照明

數碼相機從100萬像素到10百萬像素附帶相機的圖像和視頻捕捉軟件，以及尺寸測量能力

基於LabVIEW的軟件進行計算機控制和溫度監控，可以由最終用戶很容易地編程

空氣減震系統隔振表

- 無振動隔離波紋管

低溫探針台的特點：

全自動真空探針台由美國MicroXact公司生產，該探針台通過真空系統、氣體壓力系統及自動化軟件實現對系統真空腔內真空度的精確控制，通過光學顯微鏡及搭配的數字成像系統實現對測試晶圓影像的捕捉及存儲，並通過軟件控制自動馬達根據設定程序實現晶圓測試過程中的自動對準及移動測試功能。同時配置的變溫載物台通過加熱和冷卻裝置實現樣品的變溫測試目的