| 型號： | - |
|---|---|
| 品牌： | JetFirst |
| 原產地： | 法國 |
| 類別： | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 實驗儀器裝置 |
| 標籤︰ | 高溫快速退火爐 , 真空退火爐 , JetFirst系列 |
| 單價： |
-
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| 最少訂量： | - |
| 最後上線︰2019/04/16 |
歐洲原裝進口RTP系列快速退火爐常被應用在各類半導體處理工藝領域，尤其是針對4~8英吋以內的單晶圓處理，JetFirst可以在客戶現場輕鬆升級，100mm輕鬆升級到可以處理200毫米晶圓的能力，具有交叉燈技術，可在晶圓上實現更好的溫度均勻性。
應用範圍：
離子注入/接觸退火；
快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
SiAu，SiAl，SiMo等煉製合金；
低K電介質；
后植入退火處理；
銅漿燒制；
電阻漿料燒制；
太陽能電池晶片鍵合工藝；
LTO鈦酸鋰材料制備；
晶體化，緻密化；
不鏽鋼冷腔室壁優點
工藝重複性高；
高冷卻速率，低記憶效應；
高溫計和熱電偶控制；
快速數字PID溫度控制器；
超清潔無污染的環境；
無金屬和無交叉污染
