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一、名稱：8道全自動硅片刻蝕上料機     型號：QT-4000-8KSL

二、工藝

1．目的：上料機功能為將籃具上的硅片，通過皮帶傳送到排片系統中，並逐漸排成8道，然後再通過昇降皮帶機構導入到主線設備中，以供下一道工序使用。

2．適用尺寸：156.75×156.75，厚度為160～280μm的方形硅片。

3．操作方式：全自動

（1）設備結構原理：

8道全自動硅片刻蝕上料機8道全自動硅片刻蝕上料機正面8道8道全自動硅片刻蝕上料機側面

8道全自動硅片刻蝕上料機

三、設備環境要求

1．電源：   220V 50-60HZ

2.總功率：3.0kW

3．潔淨壓縮空氣：5~7 kg/cm2

四、主要技術參數

1. 外形尺寸：寬3.7米X長1.9米X高2.0米（長為主線硅片傳輸方向）
2. 生產效率：大於4000片/小時
3. 碎片率：≤0.5/1000（原碎片除外）
4. 工位數：左右雙工位
5. 開機率：≥98%
6. 上傳輸高度為1160mm,下傳輸高度為450mm
7. 設備適用籃具為100層籃具，每邊可預存花籃為5個
8. 設備預留MES接口。在遠程控制通訊協議支持下，通過特定網絡，在非現場或辦公室可實現對設備的遠端監視，包括設備運行狀況、相關數據、時間和錯誤報警等