產品描述
氧化擴散爐產品應用:應用於集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領域,適用2~8英吋工藝尺寸
擴散爐產品特點:
◆工業計算機控制系統,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門等動作進行自動控制
◆採用懸臂送片器:操作方便、無摩擦污染等
◆關鍵部件均採用進口,確保設備的高可靠性
◆工藝管路採用進口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均採用EP級電拋光管路),流量控制採用進口質量流量計(MFC)
◆控溫精度高,溫區控溫穩定性好;
擴散爐主要技 朮指標
◆工作溫度:200~1300℃
◆加熱體控制點:3/5點
◆爐體恆溫區:450mm/600mm/800mm/1100mm
◆恆溫區精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃
◆單點溫度穩定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h
◆最大可控升溫速度:15℃/min
◆最大降溫速度:5℃/min(900~1300℃)
◆供電:三相四線,380VAC/50HZ
◆局部淨化等級:100級。
◆氧化系統:干氧、濕氧(氫氧內外點火)
產品圖片
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