型號: | DCM-40 |
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品牌: | UNION |
原產地: | 日本 |
類別: | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 分析儀器 |
標籤︰ | DCM-40 , DCM-60 , DCM-40測量顯微鏡 |
單價: |
-
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最少訂量: | - |
最後上線︰2024/09/19 |
DCM-40錯位測量顯微鏡
DCM-40/60是一款設計獨特的顯微鏡,可分別或同時觀察物體的表面和底面圖像,並對兩圖像進行比較,還可以通過測量裝置測量兩圖像(表面和底面)的偏差。用途:直接測量AB兩個面的錯位尺寸
可選的物鏡有五種,放大倍率從50X~100X。測量精度可達1μm。
DCM-40/60主要應用於微電子行業,特別是在半導體行業。產品上下面尺寸有偏移時就可以直接對比測量,減少其它間接測量方式的誤差且不會損坏產品。例如:晶圓划片基準印字偏移,柔性線路板線路間距,陶瓷電容片切割對位和IC框架邊緣質量等應用。
規格:
型號 |
DCM-40 |
DCM-60 |
物鏡 |
5X, 10X, 20X ,40X, 100X |
5X, 10X, 20X ,40X, 100X |
工作台 |
50X50mm 100X100mm |
150X150mm |
光源 |
150W鹵素燈2套 |
150W鹵素燈2套 |
工件厚度 |
20mm |
30mm |
選配件 |
照相系統、TV系統 |
測量步驟:
1.將"光路選擇開關"旋轉到"Top& Bottom"位置,調整上、下物體的光軸至重合。
2.將工件置於工作臺上。旋轉"光路選擇開關"到"Top" 位置,對焦上表面. .
3.旋轉“光路選擇開關"到"Bottom” 位置, 對焦下表面。.
4.將“光路選擇開關"旋轉到"Top &Bottom"位置,測量兩圖像的位置偏差。