產品描述
敝司代理centrotherm的各種爐子,比如
1.真空焊接爐c.VLO-Series適用大批量的生產,焊接過程中的溫度範圍可高達450°C以上,客戶應用領域涵蓋:MEMS,Mosfet、IGBT,先進的封裝和光電領域。
2.擴散爐c.Verticoo Mini /c.Verticoo200多達5層堆疊的石英或碳化硅工藝爐管,可靈活選配工藝爐管,每個爐管之間不存在熱干擾,先進的水冷卻系統,一體化爐管控制系統。
3.PECVD/LPCVD的c.Horicoo200/300系統是管式系統,採用平行式石墨舟和低頻(40KHZ)激發等離子體放電。在低壓和高溫的條件下,等離子體在石墨舟的石墨電極之間激發。對硅片具有表面鈍化和體鈍化的雙重功能。
4.氧化爐c.OXIDATOR150工藝溫度從900℃到1500℃,高氧化質量,N2O和NO氧化物氮化,佔地面積小,所有無金屬加熱器和絕緣
批量可達50片晶圓,現場氯氣清洗。
5.退火爐c.Activator150/c.RAPID200高激活率,極小表面粗糙度(需適當的C-cap),最高溫度可達2000 °C,能持續運行≤1600 °C,升溫速率高達100 K/min,批量處理2“,3“,100 mm,150 mm碳化硅晶圓,批量一次工藝可達50片(150 mm),真空<10-3 mbar(選配),溫度自動校準。
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