Surface Treatment等離子表面蝕刻與清洗系統
產品描述
設備應用包括：
1）IC/LED/LCM等各形式封裝打線前的等離子表面清潔處理
2）顯影殘留去除（光阻去除）
3）Blue Tape(藍膜）殘膠去除與改質
4）介電材質去除
5）TiW等金屬薄膜去除
6）Silicon based Solar Cell Plasma Edge etching
7）AFP（抗指紋）表面超疏水性製程
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