| 型號： | JC |
|---|---|
| 品牌： | - |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 電子、電力 / 其它電力、電子 |
| 標籤︰ | 廢氣處理 , 尾氣處理 , SCRUBBER |
| 單價： |
-
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| 最少訂量： | 1 台 |
| 即時通訊: | 最後上線︰2014/08/18 |
產品應用：為 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備，應用於半導體行業、太陽能電池行業廢氣處理
產品簡介：
◆處理方式： “濕法” 、“濕法 +燃燒”
◆處理原理：
濕法：多級水噴淋，使易溶于水或與水反應生成沉積的物質，已達到有毒腐蝕易燃易爆的氣體完整回收。
濕法 +燃燒：採用電加熱方式，有毒氣體等與氧氣燃燒反應生成無毒的物質及易溶于水的物質，排放物為無毒無害的氣體。
◆處理的氣體種類包括SiH4、NH3、HCL、PH3、B2H6(BH3)、H2、NF3、CHF3等。
◆控制方式：全自動/手動（可切換）
◆完善的報警、連鎖保護措施，如斷水報警、人工或自動切入外接水臨時處理以及根據用戶定製的不同安全處理要求以適應不同行業的實際工藝使用要求
◆氣路管件採用1/4”及3/8”不鏽鋼管道，為耐腐蝕級316L（CARDINAL/SANDVIK）、燃燒室及噴淋室為304不鏽鋼，閥門焊接頭為 SWAGELOK或相當、塑料管道閥門採用優質PVC材料，泵採用耐腐蝕水循環泵、連接口採用標準的KF連接及VCR、卡套等接口，管道採用自動軌道焊接
主要技術指標（濕法 +燃燒）
◆外形尺寸：750mmW×1000mmD×1800mmH；
◆供電：三相四線/380VAC/50HZ/6KW(MAX)+2KW；
◆處理能力：≥100SLM (AWG-200HW型為200SLM, AWG-400HW型為400SLM)
◆空氣：5-6Kg/cm2,1/4英吋管道 ,160LPM(MAX)
◆N2，5-7Kg/cm2，1/4英吋管道,50LPM(MAX)
◆設備的排風口：Φ100mm，1000LPM
◆進氣管道：2進口KF50,排氣管道為KF80（可應用戶的規格調整）
反應參考（燃燒）
序號 |
氣體 |
反應參考（實際複雜） |
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1 |
SiH4 |
SiH4 +2O2--------------------＞SiO2+2H2O |
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2 |
PH3 |
2PH3 +4O2--------------------＞P2O5+3H2O |
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3 |
AsH3 |
2AsH3 +4O2--------------------＞As2O5+3H2O |
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4 |
B2H6 |
B2H6 +4O2--------------------＞B2O5+3H2O |
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5 |
NH3 |
4NH3 +3O2 --------------------＞2N2+3H2O |
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6 |
SiF4 |
SiF4 +O2 --------------------＞SiO2+2F2 |
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7 |
WF6 |
WF6 +3/2O2 --------------------＞WO3+3F2 |
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8 |
C2F5Cl2 |
C2F5Cl2+4O2--------------------＞4CO2+5F2+2Cl2 |
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9 |
SiH2Cl2 |
SiH2Cl2+3/2O2--------------------＞SiO2+ H2O +Cl2 |
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10 |
H2 |
2H2+O2--------------------＞2H2O |
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11 |
C2F6 |
C2F6+O2 --------------------＞2CO2+3F2 |
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12 |
SF6 |
SF6+O2--------------------＞SO2+3F2 |
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13 |
BCl3 |
BCl3+5/2O2 --------------------＞B2O5+3Cl2 |
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14 |
CHF3 |
CHF3+5/2O2--------------------＞2CO2+ H2O +3F2 |
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15 |
SiCl4 |
SiCl4+O2 --------------------＞SiO2+ 2Cl2 |
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16 |
CCl4 |
CCl4+O2--------------------＞CO2+2Cl2 |
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17 |
BF3 |
BF35/2O2--------------------＞B2O5+3F2 |
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18 |
C2ClF5 |
2C2ClF5+4O2 --------------------＞4CO2+ Cl2+5F2 |
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19 |
NF3 |
NF3+O2--------------------＞NO2+F2(水反應或氧化) |
