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PECVD等離子增強化學氣相沉積 1
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PECVD等離子增強化學氣相沉積

型號：-
品牌：-
原產地：美國
類別：工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰PECVD , 等離子沉積 , 化學沉積
單價： -
最少訂量：-
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北京特博萬德科技有限公司

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可沉積薄膜：氧化物薄膜、氮化物薄膜，氮氧化物薄膜、無定形硅薄膜和碳化硅薄膜等等，根據電極的配置，可用於單基片工藝，也可配備承片盤，處理基片(3”~12”尺寸)，或者多尺寸批處理基片(4x3”，3x4”，7x2”)。產品型號，有研髮型，小規模生產型適用於不同的客戶要求。

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PECVD等離子增強化學氣相沉積 1
圖 1

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