產品描述
設備用途:
用於半導體器件燒結、焊接、烘乾、管殼氣密封裝等。
鏈(帶)式燒結爐特點
本設備為氣氛保護爐,保護氣氛為氫氣、氮氣、氬氣等。
設備具有連續工作性,保証生產效率。
獨特的氣幕帘結合,確保爐膛與空氣隔絕。
多溫區控制爐溫,方便調整工藝曲線。
鏈帶速度無級連續可調。
根據用戶要求可配加濕器
鏈(帶)式燒結爐主要技術指標
帶寬 90~350mm
爐膛高度 100~200mm
爐膛寬度 100~370mm
冷卻段長 1000~6000mm
溫度範圍 300~1050℃
等溫區長 600~1500mm
控制精度 ±2℃
控制段數 4~10段
帶速 20~500mm/min
升溫時間 90~240min
升溫功率 20~120KVA
保護氣體 3~5路氮氣0~100L/min
1路氫氣0~80L/min
產品圖片
圖 1
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