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1、 最高工作溫度：800℃

2、 石英管內徑：Φ120mm/管

3、 石英管壁厚：大於3mm

4、 工作溫度：室溫~800℃

5、 等溫區精度及尺寸範圍（300℃以上）：軸向±1℃/Φ80mm（靜態）

徑向±1℃/500mm（靜態）

6、 單點溫度穩定性：（300℃以上，等溫區內任意一點）±1℃/24h

7、 升溫斜變能力：

最大可控升溫速度：15±1℃/min

最大降溫速度（300℃~800℃）≥1℃/min

8、 最大升溫功率：12KW/管

9、 保溫功率：4KW/管

10、 氣路系統：自動控制三路氣路（氫氣、氧氣、氮氣）的流量。

11、 氣體流量控制精度：±2%

12、 氣體過濾器規格：0.22um

13、 電源：380V、50Hz、30KVA

14、 冷卻水：1-2Kg、20-30升/min、水溫不超過30℃

15、 用戶N2，H2和O2氣源壓力：0.6kg—3kg

16、 氮氣、氧氣、氫氣、壓縮空氣進氣管採用3/8”內拋光不鏽鋼管。

17、 設備顏色：主框架為墨綠色、護板為微機色。

18、 外形尺寸（不含控制櫃）：長×寬×高=2200×650×1700mm（需圖紙確認）

19、 整台機器外觀漂亮，做工精細。

20、 真空度：5×10-2毫巴（工作溫度下，15分鐘內）。

21、 測溫熱偶：採用K型分度測溫熱電偶。