產品描述
自動41點精密測厚儀
產品型號：進口
自動41點精密測厚儀是硅片幾何測量的小型臺式儀器。該指數是基於兩個厚鋼板相反對方展開，每個板塊包含了一套非接觸式電容式傳感器，可測硅片厚度、TTV、彎曲度、翹曲度等。
功能特點
非接觸操作
分辨率可達0.1微米
數學模擬真空吸盤
每片晶圓的最大測量時間：5秒
全自動測量，無需任何操作
可連接電腦，提供數據評估軟件
提供快速、簡單的重新校準操作
產品圖片
圖 1
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