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硼磷含量測試儀
產品型號：進口





功能特點
該測試儀可以準確的測出硅料中硼、磷等多達70多種雜質的含量。 能夠進行定性及定量分析，能實現一次進樣多元素同時分析，分析軟件及數據處理系統便於操作，功能強大。


技術指標

■ 可編輯的分析條件和分析數據文件
■ 可創建定量分析和定性分析必須的測量條件
■ 可完成定量和定性分析
■ 可處理和確定從各種分析中獲得的數據
■ 可脫機使用軟件，隨時查看數據庫資料，修改參數

分光系統

■ 波長範圍 175nm～800nm
■ 分光單元 全息凹面衍射光柵：焦距20cm
■ 中階梯平面衍射光柵：焦距30cm
■ 檢測器 進口雙光電倍增管
■ 光學分辨率 0.006nm(194nm)
■ 波長驅動裝置 進口步進電機，最小步距：0.0003nm

高頻電源

■ 發生器 它激式電子管光源，負高壓增益自動調節，自動匹配，自動點火
■ 工作頻率 40.68MHz
■ 輸出功率 (0.6~1.2)KW(可調)
■ 輸出頻率穩定性 ≤ 0.01%
■ 輸出功率穩定性 ≤ 0.1%
■ 電磁場洩露強度 距機身30cm處，電場強度≤1.5V/m，磁場強度≤0.15A/m

儀器整體性能

■ 精密度 RSD ≤2%
■ 波長示值誤差 ±0.001nm
■ 波長重複性 ≤0.002nm
■ 最小光譜帶寬 Mn257.610nm 半高寬≤0.01nm