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質量流量控制器（大流量，常閉閥）

 

1559是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程範圍進行氣體的質量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559獨有的控制閥門能夠消除振盪、具有更好的響應時間。它的這個特點是通過使用一“平衡力”閥門的設計來實現的，它能夠消除管道壓力引起控制閥門內部的非平衡狀態。1559的精度為全量程的±1％。

                                                                                                         

例：型號1559A00421LS1BV    

 採購序列號          

校準氣體（SEMI氣體編號）*

Helium, He                      001

Argon, Ar                004

Hydrogen, H2            007

Nitrogen, N2             013

Oxygen, O2               015

      

**校準流量SLM－sccm（相當氮氣最大200SLM）

20                    021L  

50                    051L  

100                 12L  

200                 22L 

 

裝配件（Y）

標配：Swagelok 0.5英吋管                       S   

選配：Swagelok^R8VCR^R凸接頭                    R  

選配：Swagelok^R8VCO^R凸接頭                     G   

 

閥

常閉                                1

 

電氣/通訊連接器

模擬15針D                           B

 

密封（Z）

標配: Viton^R                           V  

選配: Neoprene^R                        N    

選配: BunaN                            B   

選配: Kalrez^RR                          K   

 

 

用於1559A的電纜線

CB259-5-10用來將1559連接至PR4000, 246, 247                                            

（如要在247上連接2個以上的通道，需要添加一個電源，請用CB1559-1-10）           

CB147-1-10用來將1559連接至146, 186, 647, 167                             

CB1559-1-M1用來連接1559A、247D和260PS