產品描述
一、真空管式爐簡介
真空爐、真空管式爐、氣氛燒結爐、真空燒結爐、真空氣氛爐、管式真空氣氛燒結爐 為我公司根據客戶需求專業定製的真空氣氛熱處理設備,主要用於氮化硅鍍膜、陶瓷電容器(MLCC)氣氛燒結及退火等工藝。本設備 具有 :關鍵部件進口、自動化程度高、 溫度均勻、控制穩定等特點 ,是理想的科研及生產設備。
二、真空管式爐 技術指標
1、外型形式:單管臥式,可根據客戶需求定製
2、加熱器形式:固定式加熱器(產品隨爐升、降溫)
3、加熱元件:硅鉬棒
4、工藝管材質:高純AL 2 O 3
5、最高工作溫度:1600℃
6、持續工作溫度:1500℃
7、升溫速度:1-1 5 ℃/ min
8、控溫 精度:±1℃
9、爐管尺寸:Φ100*1200mm
10、加熱區尺寸: 6 00mm
11、恆溫區長度: 300mm
12、最大加熱功率10KW,保溫功率5KW
13、反射板:產品與爐口之間有數層反射板,以減少高溫對爐口的熱輻射。反射板採用高純AL 2 O 3 製作,結構為可方便拆卸結構。
14、氣路:N 2 、H 2 、 NH 3
15、極限真空度:1.0*10 -1 Pa
16、最大充氣正壓:30KPa
17、真空計:採用數字式壓力傳感器
18、溫控系統:日本島電32段可編程溫控儀
19、控制方式:調功調壓
20、密封系統冷卻方式:水冷
21、操作方式:手、自動兩種操作方式
22、報警及保護:系統設有超溫報警及保護、斷偶報警及保護、真空系統閥門互鎖保護、缺水報警及保護
23、供電電源:AC380V±10%、50Hz
24、總功率:10KW、三相五線制
北京晶伏華控電子設備有限公司可根據客戶需求專業化定製各種: 管式爐、真空爐、管式真空爐、真空管式爐、真空燒結爐、 氣氛爐、管式氣氛爐、管式氣氛燒結爐、真空氣氛爐、熱處理氣氛爐、氣氛保護箱式 爐、熱處理氣氛爐、 箱式氣氛爐、保護氣氛爐、高溫氣氛爐、氣氛保護爐、加熱氣氛爐 等各種真空氣氛保護熱處理設備,歡迎廣大客戶來電來函。
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