型號: | CSE-SC09-NUX |
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品牌: | CSE |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 通用機械 / 清洗、清理設備 |
標籤︰ | 蝕刻設備 , 蝕刻機 , 硅片蝕刻清洗機 |
單價: |
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最少訂量: | 1 套 |
即時通訊: | 最後上線︰2014/06/28 |
1.工藝流程:上料→噴淋→刻蝕→漂洗→ 刻蝕→ 噴淋→下料
2.本設備的腐蝕槽和清洗槽間的轉換由進口SEW驅動機械手,以迅速實現兩槽之間的硅片轉換。
3.腐蝕槽配有美國聚四氟乙烯加熱器、溫度、液位傳感器。
4.清洗槽配有溢流裝置,和N2鼓泡裝置